Plasma School in Berlin 2024

Advanced course (Aufbaukurs)
Deep Reactive Ion Etching

Ausgebucht:    23. April 12:00 bis 24. April 2024 16:00
Folgetermin:    
18. Juni 12:00 bis 19.Juni 2024 16:00

Anmeldeformular und Preisinformation

    1. Main Approaches for Deep Silicon Etch
        1. Applications and Market of Deep Silicon Etch
        2. Cryogenic Process
        3. Bosch Process Overview
    2. Dynamics in Process Control Systems
        1. Fundamentals
        2. Pressure Control Example
        3. Data Quality
    3. Gas Flow Control
    4. Dual-zone ESC
    5. Special Aspects of RF and Plasma Physics for DRIE
        1. E-H Mode
        2. Bias Frequency Impact
        3. Tilting
    6. Bosch Process
        1. Process Chemistry
        2. Process Model for Chemistry and Transport
        3. Aspect Ratio Related Process Properties
        4. Diagnostics and Process Control
        5. Process Issues and Dependencies
    7. Continuous Etching Process
    8. Dry Clean
    9. Commercially Available Tools
        1. Overview
         2. Lam Research(R) 
        3. AMEC(R) 
        4. SPTS
(R)
        5. Other Bosch Tools

17. September 12:00 bis 19.September 2024 13:00
Radio Frequency Technology for Plasma Applications & Electrostatic chuck:

Anmeldeformular und Preisinformation

Grundkurs Radio Frequency Technology for Plasma Applications

Advanced course (Aufbaukurs): ESC

15. Oktober 12:00 bis 17. Oktober 2024 17:00
Plasma School for Semiconductor Manufacturing

Anmeldeformular und Preisinformation

Der Grundkurs “Plasma School for Semiconductor Manufacturing” beinhaltet folgende Module, mehr Details zum Inhalt.

5. November 12:00 bis 6. November 2024 12:00
Tools
Anmeldeformular

Equipment: Plasma Etch
Equipment: Sputtering
Equipment: PECVD

6. November 13:00 bis 7. November 2024 16:00
Advanced courses (Aufbaukurse)
Anmeldeformular und Preisinformation

Arcing

  • Plasma Arcs and Arcing
  • Chamber Arcing Basics
  • Arcing in process chambers
  • Wafer Charging and Arcing

Conditioning/Chamber matching


Special curses (Spezialkurse): Auf Anfrage


Lam (Novellus) SPEED

Lam (Novellus) Sequel

AMAT DPN

AMAT Preclean II


Alle Kurse werden in deutscher Sprache gehalten, die Handbücher sind in englisch. Weitere Informationen finden Sie auf unserer Website.

Folgende Leistungen sind eingeschlossen:
Umfassende Seminarunterlagen im Farbdruck,
gebunden, in Englisch, Persönliches Zertifikat, Speisen und Getränke (Kaffeepause Vor- und Nachmittags, Mittagessen).


REGISTRIERUNG
:

Die Teilnehmer werden gebeten, das Anmeldeformular vier Wochen vor dem Seminarbeginn zurückzusenden. Wir behalten uns eine Stornierung einzelner Anmeldungen vor, da die Teilnehmerzahl pro Seminar im Sinne einer qualitativ hochwertigen Schulung beschränkt ist und darüber hinaus gemäß den zum Schulungstermin geltenden rechtlichen Bestimmungen weiter beschränkt sein kann. Sollte die Mindestteilnehmerzahl von 5 nicht erreicht werden, behalten wir uns die Streichung des Kurses vor. Zusammen mit der Anmeldung erhalten Sie Skizze für die Anreise. Hotels befinden sich in unmittelbarer Nähe (Fußweg 10 min):