Plasma School in Berlin

Wegen hoher Nachfrage der europäischen Halbleiter-Fabs können wir dieses Jahr Kurse erst im November anbieten.


Radio Frequency Technology for
Plasma Applications & Electrostatic chuck: 08.11. 12:00 - 10.11.22 13:00
Anmeldeformular

Grundkurs Radio Frequency Technology for Plasma Applications

Advanced course (Aufbaukurs): ESC


Plasma School for
Semiconductor Manufacturing: 21.11. 13:00 - 24.11.22 12:00

Anmeldeformular

Der Grundkurs “Plasma School for Semiconductor Manufacturing” beinhaltet folgende Module, mehr Details zum Inhalt.

Advanced courses (Aufbaukurs)

Arcing

  • Plasma Arcs and Arcing
  • Chamber Arcing Basics
  • Arcing in process chambers
  • Wafer Charging and Arcing

Conditioning/Chamber matching

Special curses (Spezialkurse): Nächster Termin voraussichtlich 2023 



Anmeldeformular

Lam (Novellus) SPEED

Lam (Novellus) Sequel

AMAT DPN

AMAT Preclean II


Alle Kurse werden in deutscher Sprache gehalten, die Handbücher sind in englisch. Weitere Informationen finden Sie auf unserer Website.

Folgende Leistungen sind eingeschlossen:
Umfassende Seminarunterlagen im Farbdruck,
gebunden, in Englisch, Persönliches Zertifikat, Speisen und Getränke (Kaffeepause Vor- und Nachmittags,Mittagessen).


REGISTRIERUNG
:

Die Teilnehmer werden gebeten, das Anmeldeformular vier Wochen vor dem Seminarbeginn zurückzusenden. Wir behalten uns eine Stornierung einzelner Anmeldungen vor, da die Teilnehmerzahl pro Seminar im Sinne einer qualitativ hochwertigen Schulung beschränkt ist und darüber hinaus gemäß den zum Schulungstermin geltenden rechtlichen Bestimmungen weiter beschränkt sein kann. Sollte die Mindestteilnehmerzahl von 5 nicht erreicht werden, behalten wir uns die Streichung des Kurses vor. Zusammen mit der Anmeldung erhalten Sie Skizze für die Anreise. Hotels befinden sich in unmittelbarer Nähe (Fußweg 10 Minuten):